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碳化硼薄膜的激光法制備及性能...

��(fā)布時�� 2013.08.20

本文采用KrF��(zhǔn)分子激光器，在Si，Ge光學(xué)襯底上制備了碳化硼薄��，研究了不同激光能量、靶材與襯底��...

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