近期，兩家大型上市光��(xué)薄膜公司共同開發(fā)出了一種可��(kuò)展的百萬像素��(jí)多光譜成像儀，該成像儀��(jié)合了薄膜與光刻技��(shù)，采用了圖像��二向色濾光片以及CCD或CMOS傳感器結(jié)��(gòu)，適用于低成本、大容量的多光譜成像��(yīng)����

批處��濾光��

通常情況��，多光譜相機(jī)在圖像傳感器前放置旋��(zhuǎn)濾光片轉(zhuǎn)輪或��(jī)械切塊的薄膜二向色濾光片。其他常��(guī)多光譜系��(tǒng)則使用帶有大量二向色濾光片的多臺(tái)相機(jī)，或者在傳統(tǒng)彩色相機(jī)的頂部放置多塊帶通濾光片，以��4��20��(gè)不同波長上對(duì)目標(biāo)��(chǎng)景成����

彩色照相��(jī)通常使用濾光的方��，這種方法放置不同顏色的凝膠濾光片(通常是有��、綠、藍(lán)三種顏色的彩色濾鏡陣��)在一��(gè)二維探測(cè)器陣列上，以形成彩色照相��(jī)。新型百萬像素級(jí)多光譜成像儀使用的是相同的概��，但是用在通帶��20��200nm的范圍內(nèi)捕捉特定波段的二向色濾光片取代了廣譜彩色凝膠。此��，單��(gè)像素可以是長通濾光片、短通濾光片或光��(xué)透明的��

該成像儀的制造過程結(jié)合了薄膜制備方法和標(biāo)��(zhǔn)的光刻技��(shù)，本��(zhì)上是將數(shù)以千��(jì)或數(shù)以百萬計(jì)的非常小(特征��(diǎn)大小10μm，相鄰特征點(diǎn)間的重合公差��1μm)的薄膜二向色濾光元件覆蓋在百萬像素陣列上各像素的頂部(如圖)。微濾光片是通過將標(biāo)��(zhǔn)的光刻膠涂覆到襯底上，重��(fù)一系列的掩模對(duì)��(zhǔn)、曝光、蝕��、薄膜沉��，以及剝離工藝來制造濾光片陣列。該濾光片可以直接安裝到CCD或CMOS探測(cè)器陣列上��

圖：顯微照片顯示了以混合的薄膜光刻技��(shù)制造的二向色濾光片，用于制造成本更低的新型百萬像素��(jí)多光譜成像儀。該濾光片可以專門��(shè)��(jì)成低亮度��(chǎng)��(��)或外加紅外濾光片(��)提供彩色圖像。矩形元素的尺寸��19μm-33μm��

如果只需要五��(gè)系統(tǒng)，那么制造過程顯得并不實(shí)用或并不劃算，但是當(dāng)需要大量系��(tǒng)��(shí)，百萬像素級(jí)多光譜成像儀就可以很好地大規(guī)模生��(chǎn)。在生命安全��(yīng)用方��，更低成本的多光譜成像儀具有巨大潛力;如通過掃描檢測(cè)出污染物來協(xié)助確保食品安全，例如最近在西紅柿和菠菜中爆��(fā)的大腸桿��，或者在手術(shù)過程中幫助識(shí)別和確定癌細(xì)��。海洋光��(xué)首席技��(shù)官Jason Eichenholz說，雖然研究��(shí)��(yàn)室正在開��(fā)針對(duì)這些��(yīng)用的超光譜系��(tǒng)，但是對(duì)于真正的廣泛配置來說，它們太昂貴、體積太大并且太過復(fù)��。鍍膜工藝的��(guī)��¾¬��(jì)性使得我們的多光譜圖像儀能夠非常容易地應(yīng)用于超市、病人的床邊、普通農(nóng)民的拖拉��(jī)上或者包裝工廠中��