美軍�(biāo)�(guān)于光�(xué)表面疵病的說(shuō)�
一.定義�
表面缺陷�(biāo)�(zhǔn)：依�(jù)美國(guó)軍用�(biāo)�(zhǔn)MIL-PRF-13830B用兩組數(shù)字表示表面缺陷大小。例�40/20（或40-20）前者限制劃痕大�，后者限制麻�(diǎn)大小�
道子、亮路都�(tǒng)稱為劃痕�
斑點(diǎn)、坑�(diǎn)、點(diǎn)� 都稱為麻�(diǎn)�
�(guī)定長(zhǎng)與寬的比大于4�1的為劃痕；長(zhǎng)與寬的比小于4�1的為麻點(diǎn)�
�(dāng)元件的不同區(qū)域表面光潔度要求不一樣時(shí)，等效直徑的�(jì)算以區(qū)域�(jìn)行：表面�(zhì)量要求高的內(nèi)區(qū)域其等效直徑以內(nèi)區(qū)�?yàn)�?zhǔn)（如有效孔徑的區(qū)域），表面質(zhì)量要求低的外區(qū)域計(jì)算的是整體元件的等效直徑�
§美軍�(biāo)�(guī)定對(duì)于非圓形元件其直徑取相等面積圓的直徑�
劃痕�
以美�(guó)軍用�(biāo)�(zhǔn)《MIL-O-13830》的表面�(zhì)量劃痕樣板作為各�(jí)�(shù)劃痕的比�(duì)�(biāo)�(zhǔn)。（注意：美軍標(biāo)未指明劃痕的�(jì)量單位也即未確定劃痕的寬度和深度，只能以�(shí)際觀察樣版為�(biāo)�(zhǔn)。）
這里的劃痕級(jí)�(shù)就是通常的劃痕號(hào)�(shù)，標(biāo)�(zhǔn)樣版�10#�20#�40#�60#�80# 5�(gè)�(jí)�
§SC-QA027表面�(zhì)量標(biāo)�(zhǔn)共有7條劃痕判定標(biāo)�(zhǔn)，前5條是美軍�(biāo)的規(guī)定，后兩條是公司�(nèi)控標(biāo)�(zhǔn)。以下逐條講解�
1.�(dāng)元件的劃痕級(jí)�(shù)超過(guò)表面�(zhì)量要求的劃痕�(jí)�(shù)�(shí)，元件不合格�
例如：元件的表面�(zhì)量要求為60—40，則代表元件的劃痕必�≤60#，如果元件有�60#的劃痕，則元件不合格�
2.�(dāng)元件的劃痕級(jí)�(shù)未超�(guò)表面�(zhì)量要求的�(jí)�(shù)，但元件存在最大劃痕時(shí)，所有最大劃痕的�(zhǎng)度之和應(yīng)不超�(guò)元件直徑�1/4�
例如：有一�(zhǎng)30mm�10mm的元�，元件的表面�(zhì)量要求為60—40，有2�60#�(zhǎng)�3 mm劃痕�
它的等效直徑�20mm
1/4D�1/4×20=5mm
最大劃痕的�(zhǎng)度和為：
3mm+3mm=6mm
6mm>5mm元件最大劃痕的�(zhǎng)度和超過(guò)元件直徑�1/4。所以元件不合格�
3.�(dāng)元件存在最大劃�，而最大劃痕的�(zhǎng)度之和未超過(guò)1/4D，要求所有級(jí)�(shù)的劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比所得乘積之�，不得超�(guò)最大劃痕級(jí)�(shù)的一半�
例：有一�(zhǎng)30mm�10mm的元�，元件的表面�(zhì)量要求為60—40，元件上�2�2mm�60#劃痕�3�4mm�40#劃痕�
它的等效直徑�20mm
1/4D�1/4×20=5mm
最大劃痕的�(zhǎng)度和為：
2mm+2mm=4mm
4mm<5mm。符�2��
但所有級(jí)�(shù)的劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比所得乘積之和為�
1�60#劃痕�(zhǎng)度為�2+2）；40#劃痕�(zhǎng)度為�4+4+4+4�
2�60#劃痕乘以劃痕�(zhǎng)度與元件直徑之比�60×�2+2�/20�
40#劃痕乘以劃痕�(zhǎng)度與元件直徑之比�40×�4+4+4+4�/20
3．所有級(jí)�(shù)的劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比所得乘積之和為�
[60�2+2�/20]+[40�4+4+4+4�/20=36
元件最大劃痕級(jí)�(shù)�60�60的一半為60/2=30�36>30；因�，元件不合格�
4.�(dāng)元件的劃痕級(jí)�(shù)未超�(guò)表面�(zhì)量要求的�(jí)�(shù)，且元件不存在最大劃痕時(shí)，所有級(jí)�(shù)的劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比所得乘積之�，不得超�(guò)最大劃痕級(jí)�(shù)�
例①：元件為Æ10，表面質(zhì)量指�(biāo)60—40，有2�50#劃痕2mm�1�40#劃痕3mm，另2�40#劃痕2mm�2�20#劃痕2mm,10#劃痕�(zhǎng)度合�(jì)10 mm�
所有級(jí)�(shù)的劃痕乘以劃痕長(zhǎng)度與元件直徑之比所得乘積之和為�
[50×�2+2�/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66
元件最大劃痕為60# 66>60；因�，元件不合格�
5.�(dāng)元件�(zhì)量指�(biāo)要求劃痕等級(jí)�20或優(yōu)于此等級(jí)�(shí)，元件表面不�(zhǔn)有密集劃痕即在元件中任何一�(gè)Æ6.35mm面積的區(qū)�，不允許�4條或4條以上的大等�10#劃痕�
例：表面�(zhì)量指�(biāo)�20-10�Æ20mm�
在如圖（1）所示的區(qū)或有2條長(zhǎng)1mm
�2條長(zhǎng)0.5mm�10#劃痕�
它符�5.1.1;5.1.4 （無(wú)需考慮5.1.2;5.1.3�
但它不符�5.1.5�。元件不合格�
6.�(duì)于圓形元件不允許�20#�(jí)�(shù)以上與直徑相等的劃痕。對(duì)于方形元件不允許�20#�(jí)�(shù)以上貫穿元件的劃��
麻點(diǎn)�
依據(jù)美國(guó)軍用�(biāo)�(zhǔn)MIL-PRF-13830B麻點(diǎn)的級(jí)�(shù)取允許缺陷的�(shí)際直�，規(guī)定以1/100mm作為�(jì)量單�。如果麻�(diǎn)形狀不規(guī)�。則�(yīng)取最大長(zhǎng)度和最大寬度的平均值作為直徑�
（注意：美軍�(biāo)的麻�(diǎn)與劃痕不�，麻�(diǎn)是可�(jì)量的也即麻點(diǎn)的大小是確定��50#麻點(diǎn)也即直徑D=0.5mm的麻�(diǎn)�
1.�(dāng)元件存在超過(guò)表面�(zhì)量要求的麻點(diǎn)�(jí)�(shù)�(shí)，元件不合格�
例：元件�Æ20mm，質(zhì)量指�(biāo)要求�60—40，元件有1�(gè)直徑0.5mm的麻�(diǎn) 50>40元件不合��
2.�20mm直徑上只允許�1�(gè)最大麻�(diǎn)�
例：元件�Æ20mm，質(zhì)量指�(biāo)要求�60—40，元件有2�(gè)直徑0.4mm的麻�(diǎn)元件不合�
3.�20mm直徑上所有麻�(diǎn)直徑的總和不得超�(guò)最大麻�(diǎn)�2�
例： 40mm×40mm的元�，質(zhì)量指�(biāo)要求�60-40，其中一�(gè)Æ20mm的區(qū)域有40#�(diǎn)子一�(gè)�20#�(diǎn)子一�(gè)�10#�(diǎn)子一�(gè)，同�(shí)在另一�(gè)Æ20mm區(qū)域中�20#�(diǎn)�2�(gè)�10#�(diǎn)�4�(gè)�5#�(diǎn)�1�(gè)�
§4.�(dāng)麻點(diǎn)�(zhì)量要求為10或更�(yōu)等級(jí)�(shí)，任何兩�(gè)麻點(diǎn)的間距必須大�1mm
�:元件40mm×40mm的元��
�(zhì)量指�(biāo)要求�20-10,
有兩�(gè)5#的點(diǎn)�，點(diǎn)�
之間的距離為0.8mm.
0.8mm<1mm元件不合�
§5.小于2.5um的麻�(diǎn)略去不計(jì)�
§6. �(dāng)出現(xiàn)如圖所示密集麻�(diǎn)�(shí)以麻�(diǎn)聚集的外圍圈徑為麻點(diǎn)大小
§氣泡和包�(luò)：包�(luò)�(dāng)作氣泡考慮�
依據(jù)美國(guó)軍用�(biāo)�(zhǔn)MIL-PRF-13830B氣泡的級(jí)�(shù)與麻�(diǎn)一�，單位也相同。不�(guī)則氣泡直也是取最大寬度和�(zhǎng)度的平均��
氣泡的允許值與麻點(diǎn)相同。但氣泡和包�(luò)必須與麻�(diǎn)區(qū)分開(kāi)�(lái)，單�(dú)�(píng)�(jià)�